EDX-LE能量色散X射線分析是X射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)X射線，不同元素發(fā)射出來(lái)的特征X射線波長(zhǎng)不同，能量也不同。利用X射線能量不同而展譜一般稱為X射線能譜分析或能量色散X射線分析，所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。

 

　　EDX-LE能量色散X射線分析的主要單元是半導(dǎo)體探測(cè)器及多道脈沖高度分析器，用以將特征X射線按能量展i｝｝Er7，5的分辨率遠(yuǎn)不如波長(zhǎng)色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的X射線波長(zhǎng)色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測(cè)物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　根據(jù)分光方式的不同，X射線熒光分析可分為能量色散和波長(zhǎng)色散兩類，也就是通常所說(shuō)的能譜儀和波譜儀，縮寫(xiě)為EDXRF和WDXRF。通過(guò)測(cè)定熒光X射線的能量實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀，通過(guò)測(cè)定熒光X射線的波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品分析的方式稱之為波長(zhǎng)色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。

 

　　就能量色散型儀器而言，根據(jù)選用探測(cè)器的不同，X射線熒光分析儀可分為半導(dǎo)體探測(cè)器和正比計(jì)數(shù)管兩種主要類型。根據(jù)分析能力的大小還可分為多元素分析儀器和個(gè)別元素分析儀器。這種稱呼多用于能量色散型儀器。

 

　　X射線熒光分析不僅材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。也是X射線熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過(guò)程控制分析等方面常選儀器之一。同時(shí)，成為地質(zhì)、冶金、建材、石油化工、半導(dǎo)體工業(yè)和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域的重要分析手段。